光學(xué)微電子凈化工程
時(shí)間：2019-03-05 16:03:50
凈化方案一：
組合式空氣處理機(jī)組+冷水機(jī)組+高效送風(fēng)口
這是一個(gè)最傳統(tǒng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方案。組合式空氣處理機(jī)組里含有各種功能段，如混合段、初效過濾段、表冷段、二次回風(fēng)段(或中間段)、加熱段、加濕段、中效過濾段、風(fēng)機(jī)段等。其冷源由冷水機(jī)組提供。
方案特點(diǎn)：
A.建議新風(fēng)經(jīng)過集中處理后再與回風(fēng)混合，這樣可以減少表冷段的冷處理負(fù)擔(dān);
C.這類方案一般可以適用潔凈度較高的如百級(jí)、千級(jí)或萬級(jí)、十萬級(jí)等較低的凈化無塵廠房。
凈化方案二：
水冷柜機(jī)+增壓風(fēng)柜+高效送風(fēng)口
與前種方案比較，這是相對(duì)比較簡(jiǎn)單的空調(diào)方案。它可以大大地縮小機(jī)房的面積，水冷柜機(jī)可以根據(jù)具體的情況布置于較小機(jī)房?jī)?nèi)或凈化車間內(nèi)，增壓風(fēng)柜也可以布置于機(jī)房?jī)?nèi)或吊在機(jī)房?jī)?nèi)或在夾層內(nèi)。
方案特點(diǎn)：
這種方案可以是一次回風(fēng)也可以是二次回風(fēng)，具體根據(jù)車間的大小情況而定;這類方案一般可以適用于潔凈度為千級(jí)、萬級(jí)、十萬級(jí)等的凈化無塵廠房。
凈化方案三：
分體空調(diào)柜機(jī)+FFU送風(fēng)口
這是最簡(jiǎn)易的一個(gè)空調(diào)方案。是直接將分體空調(diào)柜機(jī)布置于車間內(nèi)，并用彩鋼圍護(hù)起來，在柜機(jī)回風(fēng)口處再在彩鋼板上開回風(fēng)口(帶初效過濾網(wǎng));KLC風(fēng)機(jī)過濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。這個(gè)方案適用于對(duì)室內(nèi)溫濕度精度要求不高的無塵車間。
方案特點(diǎn)：
A、無塵車間的潔凈度：LCD制屏的簡(jiǎn)略流程為：清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。
B、溫濕度要求：溫度一般為24+2℃，相對(duì)濕度為55+5%。
C、新風(fēng)量大
D、送風(fēng)量大
組合式空氣處理機(jī)組+冷水機(jī)組+高效送風(fēng)口
這是一個(gè)最傳統(tǒng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方案。組合式空氣處理機(jī)組里含有各種功能段，如混合段、初效過濾段、表冷段、二次回風(fēng)段(或中間段)、加熱段、加濕段、中效過濾段、風(fēng)機(jī)段等。其冷源由冷水機(jī)組提供。
方案特點(diǎn)：
A.建議新風(fēng)經(jīng)過集中處理后再與回風(fēng)混合，這樣可以減少表冷段的冷處理負(fù)擔(dān);
C.這類方案一般可以適用潔凈度較高的如百級(jí)、千級(jí)或萬級(jí)、十萬級(jí)等較低的凈化無塵廠房。
水冷柜機(jī)+增壓風(fēng)柜+高效送風(fēng)口
與前種方案比較，這是相對(duì)比較簡(jiǎn)單的空調(diào)方案。它可以大大地縮小機(jī)房的面積，水冷柜機(jī)可以根據(jù)具體的情況布置于較小機(jī)房?jī)?nèi)或凈化車間內(nèi)，增壓風(fēng)柜也可以布置于機(jī)房?jī)?nèi)或吊在機(jī)房?jī)?nèi)或在夾層內(nèi)。
方案特點(diǎn)：
這種方案可以是一次回風(fēng)也可以是二次回風(fēng)，具體根據(jù)車間的大小情況而定;這類方案一般可以適用于潔凈度為千級(jí)、萬級(jí)、十萬級(jí)等的凈化無塵廠房。
分體空調(diào)柜機(jī)+FFU送風(fēng)口
這是最簡(jiǎn)易的一個(gè)空調(diào)方案。是直接將分體空調(diào)柜機(jī)布置于車間內(nèi)，并用彩鋼圍護(hù)起來，在柜機(jī)回風(fēng)口處再在彩鋼板上開回風(fēng)口(帶初效過濾網(wǎng));KLC風(fēng)機(jī)過濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。這個(gè)方案適用于對(duì)室內(nèi)溫濕度精度要求不高的無塵車間。
方案特點(diǎn)：
A、無塵車間的潔凈度：LCD制屏的簡(jiǎn)略流程為：清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。
B、溫濕度要求：溫度一般為24+2℃，相對(duì)濕度為55+5%。
C、新風(fēng)量大
D、送風(fēng)量大
電子無塵凈化車間潔凈等級(jí)說明
| 等級(jí) | 等級(jí)說明及車間應(yīng)用 |
| 1級(jí) | 這個(gè)級(jí)別的無塵車間主要用于制造集成電路的微電子工 業(yè)，對(duì)集成電路的精確要求為亞微米 |
| 10級(jí) | 這個(gè)級(jí)別的無塵車間主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè) |
| 100級(jí) | 很多人認(rèn)為，這一級(jí)無塵車間是最常用因而是最重要的無塵車間，人們常常錯(cuò)誤地將100級(jí)潔凈室稱為無菌室，以說明“無菌”的或“無塵”的環(huán)境要求，100級(jí)無塵室可用于醫(yī)藥工業(yè)的無菌制造工藝等，這一潔凈室大量應(yīng)用于，植如體內(nèi)物品的制造，外科手術(shù)，包括移植手術(shù)，集成器的制造，那些對(duì)細(xì)菌感染特別敏感的病人的隔離治療，比如像骨髓移植病人術(shù)后的隔離治療 |
| 1000級(jí) | 這個(gè)級(jí)別的無塵車間主要用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn)，還用于測(cè)試，裝配飛機(jī)蛇螺儀，裝配高質(zhì)微型軸承等 |
| 10000級(jí) | 萬級(jí)無塵車間用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的裝配，某些情況下也用于食品飲料工業(yè)，此外，萬級(jí)無塵車間在醫(yī)工業(yè)中也很常用 |
| 100000級(jí) | 十萬級(jí)無塵車間用于很多的工業(yè)部門，比如光學(xué)產(chǎn)品的制造，用于較小的元器件制造大型的電子系統(tǒng)，液壓或氣壓系統(tǒng)的制造，食品飲料的生產(chǎn)，醫(yī)、藥工業(yè)也常常使用這一級(jí)無塵車間 |
潔凈室（區(qū)）空氣潔凈級(jí)別表
| 潔凈度級(jí)別 | 塵粒最大允許數(shù)/立方米≥0.5μm塵粒數(shù) | ≥5μm塵粒數(shù) | 微生物最大允許數(shù)浮游菌/立方米 | 沉降菌/皿 |
| 100級(jí) | 3,500 | 0 | 5 | 1 |
| 10,000級(jí) | 350，000 | 2，000 | 100 | 3 |
| 100，000級(jí) | 3，500，000 | 20，000 | 500 | 10 |
| 300，000級(jí) | 10，500，000 | 60，000 | 1000 | 15 |
光學(xué)微電子凈化工程換氣參數(shù)
| 換氣次數(shù)： | 100000級(jí)≥15次；10000級(jí)≥20次；1000≥30次 | 壓差： | 主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa |
| 平均風(fēng)速： | 10級(jí)、100級(jí)0.3－0.5m/s | 溫度： | 冬季＞16℃；夏季 ＜26℃；波動(dòng)±2℃ 溫度45－65％ GMP粉劑車間濕度在50％左右為宜 電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電 |
| 噪聲： | ≤65dB（A） | ||
| 新風(fēng)補(bǔ)充量： | 新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10％－30％ | ||
| 照度： | 300LX |
